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碳化硅外延技术规范
文章作者：poshing 上传更新：2023-10-04
型号
4英寸N型
6英寸N型
厚度
120微米及以下
120微米及以下
浓度区间
2E14-1E19 cm-3
8E14-1E19 cm-3
浓度均匀性
≤8%
≤8%
厚度均匀性
≤2%
≤2%
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